气体循环冷却真空罗茨泵主要由转子1、转子2、泵体4、冷却器7 等组成,罗茨真空泵的优点是在较低入口压力时仍具有较大抽气速率,但罗茨真空泵不能单独使用,必须与前级真空泵配套使用。由于其特殊的结构设计,使其可以在高压差和高压缩比下长期可靠运行。当前级真空泵将系统压力抽到罗茨真空泵允许启动压力时,才可启动罗茨真空泵。冷却气体从泵体的两侧进入泵的吸气腔,使泵不会因压缩气体而出现过热,但对泵的抽气性能没有任何影响。根据不同的工作压力和工艺条件,罗茨真空泵的前级真空泵可采用油封式机械真空泵、液环式真空泵、往复式真空泵等。转子在泵腔内旋转并完成一次吸、排气的过程。冷却器和电机是每台泵必备的附件,冷却器和电机的规格是根据不同的工况而定。泵可以单独使用也可以多台串联使用,或与液环真空泵和普通罗茨真空泵串联成机组,达到更高真空度来满足各类工艺要求。